超纯水即纯度极高的水，这种水中除了水分子(H2O)外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氟二恶英等有机物。是美国科技界为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其他适当的超临界精细技术生产出来的水。集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模板的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外超纯水已在生物、医药、汽车等领域广泛应用。

我公司主要采用反渗透设备与电去离子(EDI)设备进行搭配制配电子工业超纯水的方式，这是一种制取超纯水的新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：

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